不同尺寸的軟磁合金膜
示出具有Fe54.9Hf11O34.1組成的軟磁性合金的金相圖的示意圖，該軟磁性合金已被形成為膜。在該圖中，b-c-c結(jié)構(gòu)的Fe的微晶相在環(huán)繞的區(qū)域中沉淀，表現(xiàn)出與具有非晶相的其余區(qū)域不同的相。計算圖1中的環(huán)繞區(qū)域的面積。 8表明它約占整個區(qū)域的50％。因此，顯而易見的是，在該示例的軟磁合金中，F(xiàn)e的微晶相約占50％，非晶相約占50％。此外，從圖5中所示的5nm的尺度來看，在圖8中，每個晶粒顯然表現(xiàn)出小的晶粒尺寸。計算表明平均晶粒尺寸為7 nm。
出具有Fe46.2Hf18.2O35.6組成的軟磁性合金的金相圖的示意圖，該軟磁性合金已被形成為膜。在該圖中，b-c-c結(jié)構(gòu)的Fe的微晶相在環(huán)繞的區(qū)域中沉淀，表現(xiàn)出與具有非晶相的其余區(qū)域不同的相。計算圖1中的環(huán)繞區(qū)域的面積。圖9顯示它約占整個區(qū)域的10％。因此，顯而易見的是，在該示例的軟磁合金中，F(xiàn)e的微晶相約占10％。此外，從圖5中所示的5nm的尺度來看，每晶粒顯然具有較小的晶粒尺寸；計算表明平均晶粒尺寸為4nm。
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